Solarius 是一家光學量測儀器客製化設備商，可針對微米級 / 奈米級高度、3D 立體輪廓及表面粗糙度等量測項目客製規劃，若有全自動化需求也可納入評估並整合導入，常見量測應用場景如 CMP、cooper pillar、wire bond、晶圓表面、航太零件表面、microlens、探針卡共面度、probe mark depth 等。