光學量測
- 開口數 （N.A=Numerical Aperture）
開口數N．A是決定物鏡的分解能、焦點深度、影像的清晰等的重要條件。
開口數N．A由下面的公式來表示，這個數值越大，能得到高解析影像，焦點深淺的像。
開口數N．A由下面的公式來表示，這個數值越大，能得到高解析影像，焦點深淺的像。
- N.A.=n.Sinθ
n是物鏡頭部與工件之間的媒介的折射率。媒介是空氣的時候n=1.0。
θ是通過物鏡最外側的光線與鏡頭中心主光軸之間的角度。
θ是通過物鏡最外側的光線與鏡頭中心主光軸之間的角度。
- 解像力（R=Resolving power）
解析力通常指的是可分辨兩目標物(objective)間的最小極限距離
解析力R)是由開口數N. A和波長λ來決定的。
- 解析值(Resolution) :α＝λ／（２ ｘ ＮＡ）
λ：５５０ｎｍ（≒５４６ｎｍ：ｅ line 可見光）
當物鏡的NA值等於0.55時 , 解析值為何 ?
例 : 當解析力為１μm時 , 在1mm的尺寸中可以判別1000條線 (spaces / mm) ; 當解析力為2μm時 , 在1mm的尺寸中可以判別500條線。
- 工作距離 （W.D=Working Distance）
工作距離是指對焦後，從工件表面到物鏡頭之間的距離。
- 同焦距離
同焦距離是指對焦後，從工件表面到物鏡安裝位置之間的距離。
- 無限遠補正光學系
使用物鏡與成像鏡頭組成的光學系統稱為無限遠補正光學系。