目前市面上 6" 和 8" Wafer 缺乏可結合的精密可靠量測設備,需通過不同站別,才能達到檢查和量測的需求。
NIKON 提供自動送片機 NWL 和 VMZ-S3020 機密量測機,可以達成此一目標,將自動送片及自動量測兩者合而為一。
▲傳統的檢查和量測流程,可能需切片,耗時耗人力,成本高。
▲Nikon VMZ-S3020 除高精度自動量測,也可搭配瑕疵檢測軟體做 AOI,可客製化軟體
如有 12" Wafer 需求,同樣也可搭配 efem 自動送片機,達到高精度自動量測的需求!
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