針對Nikon 12吋一系列檢測設備，上半年已協助多家客戶完成相關Robot維護工程，進而提昇產品運轉妥善率， 及降低wafers傳送時異常問題發生。

透過本技術部檢測服務，提供上述性能測試報告書，客戶將更清楚瞭解設備與Robot本體運作狀況，能提早預防相關技術問題發生。