晶圓裝載與量測自動化整合方案│Nikon NWL-200

NWL 系列是 Nikon 半導體晶圓裝載機，支援晶圓正反面及整面區域檢測，晶圓旋轉速度和傾斜角度皆可自動或手動設置，並能夠與 Nikon Eclipse LV 系列顯微鏡或 NEXIV 影像測量系統搭配，將直徑 6" (150mm) 和 8" (200 mm) 、最薄厚度為 100 µm 的晶圓輸送至量測系統上檢驗，檢驗結束再回歸 cassette，做為一自動化整合方案。

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