用非接觸的方式量測平面度的方法 - 手動量測機篇
甚麼狀況會需要用非接觸式的方式來做量測呢？
一、若工件不容易固定住，使用接觸式探頭做量測時很容易造成工件移動。
二、工件被碰觸後會變形甚至損壞。
三、可量測的地方太小，探頭碰觸不到。
為減少量測誤差，以 CNC 自動影像量測機是最推薦的量測方法 ，但會比手動量測高出 2 ~ 3 倍的成本，因此衡量多方因素下，手動量測仍有其不可代替的地位。
手動量測機的方法：
工具顯微鏡需要選擇 Z 軸有光學尺的機型，以手動對焦的方式來對焦取點，並搭配電腦和量測軟體以計算出平面度。量測時取 3 點成一平面，第4點開始顯示平面度的數值。
通常先用低倍鏡找到位置，再用高倍鏡做量測。因為鏡頭有景深的關係，倍率越低景深越大，若景深有 20 um，對焦在這範圍內時，焦距都是清楚的，就有可能造成最大 20um 的單點取點誤差，因此使用高倍鏡（ex：20X 鏡頭景深 3.6um，50X 鏡頭景深 1.4um）縮短景深，若再加上「輔助對焦裝置」量測，更可以提高量測的重現性，大幅降低人為量測的誤差。
▲ 輔助對焦裝置
國祥貿易代理的工具顯微鏡：Nikon MM400 / MM800（可選配「輔助對焦裝置」）可提供這方面最佳的量測方案。
