Nikon VMZ - H3030 高精度機型
隨著科技的日新月異，產品的規格要求越來越精細，使得量測工具必須能配合產品跟著提高精度，一般的量測儀器已無法滿足工業界量測上的需求。
VMZ - H3030 以超高精密度和多樣性功能提供給您最佳的量測品質。
• NIKON 獨家的雙 Y 軸光學尺，可校正載物臺移動時可能會造成的扭力變形，並改良光學尺的刻度。
• 為了避免震動影響到量測結果的正確性，VMZ - H3030 改良了機體的結構，增加了抗動性以減低震動對量測所造成的影響。
• 先進的載物臺的設計，對於 XY 方向移動所可能產生的額外應力，因而導致載物臺不在原定光學尺的軌道上滑動，使得量測數據產生誤差的六大因素，進行矯正預防措施。
對於生產線擴大，正在評估新的檢驗設備的評估者而言，是否要購買專用機或是泛用機？是考量新設備時必要的決定。若是購買專用機，不僅價格高昂，而功能上卻不具延伸性，無法面面俱到。在種種的因素考量下，讓很多評估者陷入兩難，是否需要購買單一用途且價格不俗的專用機？還是購買多用途但相對精度不高的影像量測機？對於有這樣疑問的採購者， VMZ - H3030 為這樣的難題找到了一舉兩得的解決方案。
適用產業：研究實驗室、高精度模具、光罩微機電系統、晶圓凸點等。
機型 | VMZ-H3030 | VMZ-H3030-Z120X | ||
行程 (XxYxZ) mm | 300 x 300 x 150 | |||
最小讀值 | 0.01 μm | |||
最大承重 | 30kg | |||
量測精度 | U 1X U 1Y | 0.6+ 2L /1000μm | ||
U 2XY | 0.9+ 3L /1000μm | |||
Z Axis | 0.9+ L/150μm | |||
攝影機 | B & W CCD (progressive) ; Color CCD | |||
工作距離 | 50 mm | 高倍 | 9.8 mm | |
低倍 | 32 mm | |||
倍率 ─ 視野 | Type 1 | 0.5X -- 9.33 x 7 mm 7.5X -- 0.622 x 0.467 mm | 1X -- 4.67 x 3.5 mm 120X -- 0.039 x 0.029 mm | |
Type 2 | 1X -- 4.67 x 3.5 mm 15X -- 0.311 x 0.233 mm | |||
Type 3 | 2X -- 2.33 x 1.75 mm 30X -- 0.155 x 0.177 mm | |||
自動對焦方式 | TTL 雷射對焦和影像對焦 | |||
光源種類 | 底部光、表面光 LED 環形光 ( 內環 / 外環 ) | 底部光 ( 高倍光學頭 ) 表面光、暗視野 | ||
電源 | AC100 ~ 240V±10%, 50/60Hz | |||
電力消耗 | Max. 7A | |||
外觀尺寸與重量(W x D x H) mm | 僅主體 | 915 x 1060 x 1300 約 450kg | ||
主體與防震桌 | 1000 x 1100 x 1900 約 570kg | |||
控制箱 | 250 x 550 x 500 約 31kg | |||
接地尺寸 (W x D) mm | 2400 x 1400 | |||