• 支援 6” 及 8” 晶圓
• 支援 100µm 薄晶圓的提取
• 電源意外中斷時，真空吸盤仍可保持活動狀態，可確保安全裝卸晶圓

• 有效辨識晶圓變形，避免手臂損壞晶圓
• 非接觸式置中機構，使機械手臂可精確裝卸晶圓，並縮短輸送週期，提高單位時間吞吐量

• 符合人體工學，操作面板位於操作員觸手可及的範圍，晶圓載具位於操作員左側 35°，易於上下載具並目視檢查，減少手眼移動量

Specification

Dimension