NIKON VMZ Mapping Pro 同時可使用於晶圓量測，與基板量測之軟體，即為待測元件之位置分佈圖，在輸入間距等數據後，可建立 Mapping 圖，可挑選所要的元件進行量測， 解決抽檢與資料統計分析繁複費時的問題，提升作業便利性。