Nikon VMZ-S 系列使用同軸雷射對焦，速度快之餘，相較使用影像對焦的儀器精度更高，這是因為影像對焦有景深誤差的問題，但 Nikon VMZ-S 系列透過編寫程式，可快速量測出 wafer 的翹曲數值，搭配軟體可呈現 3D 立體圖，還可結合自動送片機，達到全自動化量測需求。