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白光干涉儀
【PENTAX】WLI 3020 表面輪廓解決方案 - 【白光干涉儀】
可自動拼接測量,具有鏡頭防護保護、真空吸附台、聲波隔振防護、干涉物鏡、水準調整裝置及雙通道氣浮隔振系統。
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